张昊
【姓名】 张昊
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 界面陷阱,薄膜,等离子体增强化学汽相淀积,热电子注入,雪崩热电子注入,PECVD,SiOxNy薄膜,雪崩,雪崩注入,电子陷阱,SiOx,主型,纳米级,PECVD法,禁带,介质膜,快速热氮化,注入时间,...
【工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所;
【所在地域】 广东广州
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[1]陈蒲生,陈闽捷,张昊.PECVD形成纳米级薄膜界面陷阱特性的雪崩热电子注入研究[J]半导体技术.2004,(01)
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