夏雷
【姓名】 夏雷
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 水,等离子体增强化学汽相淀积,二氧化硅膜,正硅酸乙酯,CVD新技术,介质膜,TEOS,等离子,沉积温度,覆盖性,相淀积,有机成分,化学汽,抗蚀性,折射率,刻蚀速率,台阶,等离子体增强,沉积速率,流量比,
【工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所;
【所在地域】 石家庄
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[1]李明月,林文长,夏雷,刘英坤,张健,杨基南,吴京波.TEOS-H_2O等离子CVD新技术[J]半导体情报.1999,(05)
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