王维军
【姓名】 王维军
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光图形发生器,曝光速率,纳米图形,电子束光刻,剥离技术,光刻技术,纳米,T形栅,纳米级,电子束,工件台,纳米点,格式文件,InPPHEMT,级间距,电子束曝光系统,高速计算器,减速过程,并行交换,纳...
【工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所;
【所在地域】 石家庄
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[1]罗蓉;杨拥军;王维军;刘玉贵;罗四维;.基于薄层SOI材料的NEMS结构制备技术[J]微纳电子技术.2009,(05)
[2]刘玉贵,王维军,罗四维.电子束纳米光刻技术研究[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
[3]田振文,刘贵增,王维军.大幅提高ЭМ-5009Б激光图形发生器的曝光速率[J]半导体情报.1999,(05)
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