学者知网节

【姓名】	闫志瑞
【职称】	工程师;
【研究领域】	无线电电子学;金属学及金属工艺;化学;
【研究方向】	半导体硅材料
【发表文献关键词】	参数测试仪,硅片清洗,日常维护,机械手,金属沾污,日常维,安全使用,预防性,硅抛光片,电阻率,清洗设备,X射线,平整度,预防性维护,真空吸盘,X射线发生器,阴极X射线,一次校准,X光,接收台,安全注意...
【工作单位】	有研半导体股份有限公司
【曾工作单位】	有研半导体股份有限公司;
【所在地域】	北京

中国期刊全文数据库 共找到9篇

[1]党宇星;徐继平;刘斌;叶松芳;肖清华;闫志瑞;石瑛;张果虎;周旗钢;柳滨;郭强生;王东辉;.300mm硅片精密化学机械抛光机几何参数优化(英文)[J]电子工业专用设备.2012,(10)

[2]曲翔;陈海滨;方锋;汪丽都;周旗钢;闫志瑞;.区熔(FZ)硅单晶气相掺杂电阻率的理论计算[J]人工晶体学报.2013,(03)

[3]曲翔;徐文婷;肖清华;刘斌;闫志瑞;周旗钢;.忆阻器材料的研究进展[J]材料导报.2012,(11)

[4]王永涛;库黎明;徐文婷;戴小林;肖清华;闫志瑞;周旗钢;.Cusp磁场中CZ硅氧浓度分布的数值模拟[J]微电子学.2012,(05)

[5]闫志瑞;唐兴昌;葛钟;陈海滨;张果虎;.砂轮粒径对磨削后Si片表面形貌的影响[J]半导体技术.2009,(12)

[6]葛钟;闫志瑞;库黎明;陈海滨;冯泉林;张国栋;盛方毓;索思卓;.砂轮粒径对300mm Si片双面磨削影响的研究[J]半导体技术.2008,(04)

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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