陈勇
【姓名】 陈勇
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 油密封,自燃,硅烷,真空泵,机械泵,油过滤器,换油,惰性气,前级泵,半导体制造,油腔,油标,排气管道,气镇,AsH3,排出泵,泵体,反应气体,反应室,机械损伤,
【工作单位】 新中亚微电子有限公司
【曾工作单位】 新中亚微电子有限公司;
【所在地域】 江苏无锡
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[1]陈勇,王永忠.油密封真空泵的安全使用[J]电子与封装.2003,(02)
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