郑梦鼎
【姓名】 郑梦鼎
【职称】
【研究领域】 机械工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 IC制造,气动系统,大规模集成,超纯,气动,电路,排气处理,真空吸取,流体元,灰尘,控制元件,发尘量,重密封,颗粒,导向环,气体供给系统,高洁净,禁油,捕捉器,气动元件,
【工作单位】 喜开理(上海)机器有限公司
【曾工作单位】 喜开理(上海)机器有限公司;
【所在地域】
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[1]张自航,郑梦鼎.IC制造中的气动系统[J]现代制造.2005,(09)
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