张福祯
【姓名】 张福祯
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅片,缺陷,光反射方法,硅抛光片,表面质量,外延片,光反射,测试方法,硅外延片,外延层,半导,天津,抛光片,南开大学,滑移线,表面缺陷,体材料,金相显微镜,原生缺陷,物理系,
【工作单位】 天津半导体材料厂
【曾工作单位】 天津半导体材料厂;
【所在地域】 天津
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[1]颜彩繁,李增发,李训普,张光寅,王宏杰,张福祯.用光反射测试方法检测的硅抛光片和外延片表面的图谱[J]南开大学学报(自然科学版).1998,(03)
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