陈焕吉
【姓名】 陈焕吉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SICI,四氯化硅,超纯,固体吸附,新方法,PCI,吸附管,吸附剂,精馏法,精馏,满键,去离子水,SiCl_4,四价元素,兆欧,不对称分子,键极性,摇混,对称分子,提纯效果,
【工作单位】 苏州半导体总厂
【曾工作单位】 苏州半导体总厂;
【所在地域】
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[1]陈焕吉.提取超纯四氯化硅的新方法[J]半导体技术.1982,(02)
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