张纯棣
【姓名】 张纯棣
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅,各向异性腐蚀,MEMS,腐蚀装置,腐蚀液,传感器,高精度,湿法腐蚀,恒温控制系统,微机械加工技术,KOH溶液,腐蚀深度,单晶硅材料,腐蚀技术,硅材料,槽罐,腐蚀时间,原子密度,{111}晶面,单晶...
【工作单位】 沈阳仪表科学研究院
【曾工作单位】 沈阳仪表科学研究院;
【所在地域】 辽宁沈阳
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[1]刘沁,匡石,张纯棣,李民.高精度4英寸硅片腐蚀装置[J]仪表技术与传感器.2004,(05)
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[1]匡石;刘沁;张纯棣;李民;.传感器芯片腐蚀深度测试仪的研制[A].中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集.2004-07-01
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