刘沁
【姓名】 刘沁
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;电信技术;
【研究方向】 MEMS技术
【发表文献关键词】 硅电容,硅,各向异性腐蚀,MEMS,压力传感器,差动电容,腐蚀装置,芯体,敏感器件,感器,腐蚀液,传感器,高精度,湿法腐蚀,恒温控制系统,传感器芯片,微机械加工技术,KOH溶液,腐蚀深度,单晶硅材料,...
【工作单位】 沈阳仪表科学研究院
【曾工作单位】 沈阳仪表科学研究院;
【所在地域】 辽宁沈阳
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