张东海
【姓名】 张东海
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 镀膜机,非晶硅太阳电池,太阳电池,非晶硅,底带,柔性衬底,PCVD,反应气体,罗茨泵,隔热屏,放卷,交叉污染,沉积室,射频电极,收卷,纸带,同步调节,充气管路,抽气,不同反应,
【工作单位】 沈阳市真空应用研究所
【曾工作单位】 沈阳市真空应用研究所;
【所在地域】
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[1]李凡,金永,张东海.非晶硅太阳电池和HLRB-TD6A非晶硅太阳电池镀膜机[J]真空.1990,(05)
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