尹洪禹
【姓名】 尹洪禹
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 油扩散泵,ZnO,薄膜,腔式,MOCVD,抽速,等离子体,ZnO膜,封闭式加热器,性能改进,加热器,泵体,大型泵,加热功率,抽速系数,启动时间,反应室,直筒式,缩短启动时间,喉部面积,速冷,入口直径,...
【工作单位】 沈阳市真空应用研究所
【曾工作单位】 沈阳市真空应用研究所;
【所在地域】 辽宁沈阳
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[1]易贵华,尹洪禹.沉积ZnO膜的MOCVD装置的研制[J]真空.2001,(06)
[2]姜勇,尹洪禹.KT-600型凸腔式油扩散泵性能改进[J]真空.1983,(06)
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