易贵华
【姓名】 易贵华
【职称】 工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,ZnO,MOCVD,等离子体,ZnO膜,反应室,样品台,蝶阀,O薄膜,质量流量控制器,充气系统,高真空,子体,化学气相沉积,涡轮分子泵,冷阱,动轴,加热体,生成薄膜,机械泵,
【工作单位】 沈阳市真空应用研究所
【曾工作单位】 沈阳市真空应用研究所;
【所在地域】 辽宁沈阳
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 1 0 1 5 123
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]易贵华,尹洪禹.沉积ZnO膜的MOCVD装置的研制[J]真空.2001,(06)
更多