谢文利
【姓名】 谢文利
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 新膜系,氮碳氧,开发,反应气体,基体温度,研究开发,装饰行业,装饰膜,色带图,充气系统,分压范围,氮化膜,镀金属,体表面,反应溅射,蒸镀,乙炔分压,K金,清洁度,镀膜室,
【工作单位】 沈阳市真空应用研究所
【曾工作单位】 沈阳市真空应用研究所;
【所在地域】
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[1]朴元河,谢文利.氮碳氧新膜系的研究开发[J]真空.1990,(05)
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