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【姓名】	关秉羽
【职称】
【研究领域】	工业通用技术及设备;金属学及金属工艺;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】	非平衡磁控溅射,薄膜,PLC,镀膜,金属离子注入,等离子体,磁控,四面体非晶碳膜,偏压,拉曼分析,离子源,探针诊断,离子束,磁镜场,磁过滤,弧源,微机控制,镀膜机,磁约束,溅射靶,磁镜,溅射,机控,四...
【工作单位】	沈阳市北宇真空设备厂
【曾工作单位】	沈阳市北宇真空设备厂;
【所在地域】	沈阳

中国期刊全文数据库 共找到7篇

[1]林永清;巩春志;魏永强;田修波;杨士勤;关秉羽;于传跃;.脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN膜层性能的影响[J]材料研究学报.2008,(04)

[2]陈玲玲,李国卿,黄开玉,关秉羽,汪思源.镀膜机的微机控制[J]真空.2003,(06)

[3]张成武,李国卿,柳翠,关秉羽.脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜[J]真空.2004,(04)

[4]牟宗信,龙振湖,李国卿,关秉羽.强流磁约束金属离子注入源[J]核聚变与等离子体物理.2005,(01)

[5]牟宗信,关秉羽,李国卿,宋林峰.非平衡磁控溅射中调制磁场的作用[J]真空.2002,(03)

[6]牟宗信,李国卿,关秉羽.对靶非平衡磁控溅射系统平面探针诊断[J]真空.2002,(05)

[7]邹学平,李国卿,丁振峰,张家良,牟宗信,关秉羽.脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究[J]核聚变与等离子体物理.2002,(04)

中国重要会议全文数据库 共找到8篇

[1]牟宗信;李国卿;关秉羽;.PVD沉积复合薄膜改善不锈钢模具性能研究[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

[2]冯建基;李国卿;关秉羽;.离子束溅射沉积Al_2O_3提高Si_3N_4陶瓷材料抗氧化性研究[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

[3]李国卿;柳翠;牟宗信;关秉羽;.等离子体-离子束源增强沉积设备[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

[4]苟伟;李国卿;关秉羽;.不锈钢的离子氮化-离子镀膜一体化[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

[5]柳翠;李国卿;牟宗信;张成武;关秉羽;.Ti掺杂类金刚石碳膜的结构与性能的研究[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

[6]陈玲玲;李国卿;关秉羽;汪思源;.镀膜机的微机控制[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

[7]张成武;李国卿;柳翠;关秉羽;.脉冲磁过滤阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

[8]柳翠;李国卿;王力阁;关秉羽;.等离子体增强磁控溅射沉积技术(PMD)制备薄膜[A].TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2003-09-01

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