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张介乐
【姓名】
张介乐
【职称】
【研究领域】
工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】
新型,极限真空,溅射离子泵,离子泵,溅射,超高真空,规管,抽气速率,高压电极,测试罩,泵体,抽速,放气率,清洁处理,阳极筒,冷却储存环,盲板,真空,真空系统,真空度,
【工作单位】
上海真空泵厂
【曾工作单位】
上海真空泵厂;
【所在地域】
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中国期刊全文数据库
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[1]仇华兴,孙仁君,张介乐.
10~(-10)Pa 溅射离子泵的研制
[J]真空.1998,(03)
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[1]仇华兴;孙仁君;张介乐;.
10~(-10)Pa溅射离子泵的研制
[A].中国真空学会科技进步奖(1994-2000)得奖人员论文集.2000-06-30
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