张东红
【姓名】 张东红
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磷扩散,校正,工艺模拟,高浓度,结深,点缺陷,磷分布,电荷态,杂质浓度,空位对,杂质,氧化层厚度,发射区,超平衡,典型值,扩散机制,空位浓度,替位杂质,空位流,键能,
【工作单位】 上海先进半导体制造股份有限公司
【曾工作单位】 上海先进半导体制造股份有限公司;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 1 0 0 6 172
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]冒慧敏,张东红.高浓度磷扩散的模拟[J]固体电子学研究与进展.1998,(03)
更多