张文龙
【姓名】 张文龙
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 抛光,抛光液,抛光片,二氧化硅,无纺布衬垫,热氧化层错,抛光布,粘板,精抛,抛光机,损伤层,平整度,表面损伤,化学腐蚀,旋涡缺陷,白碳黑,抛光速率,粘片,两步抛光,机械磨削,
【工作单位】 上海无线电十四厂
【曾工作单位】 上海无线电十四厂;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 1 0 56
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]张文龙.二氧化硅无纺布衬垫抛光[J]半导体技术.1980,(06)
更多