李心海
【姓名】 李心海
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 埋层,乳胶,薄层电阻,结深,表面浓度,实验结果,质量,预淀积,涂胶,均匀性,杂质,扩散工艺,氧化层,箱法扩散,抛光,扩散温度,外延层,扩散条件,外延,扩散系数,
【工作单位】 上海无线电七厂
【曾工作单位】 上海无线电七厂;
【所在地域】
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[1]洪垣,李心海.锑乳胶源埋层扩散[J]半导体技术.1988,(03)
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