程建瑞
【姓名】 程建瑞
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;工业经济;
【研究方向】 高端步进式、扫描式投影光刻机研究等工作
【发表文献关键词】 半导体产业,半导体设备,微光电信号,探测器,光纤耦合,对准标记,光刻设备,专用设备,照明光源,半导体,新挑战,对准系统,投影光刻机,实际应用,半导体市场,激光器,射频调制,光栅,销售额,集成电路产业,...
【工作单位】 上海微高精密机械工程有限公司
【曾工作单位】 上海微高精密机械工程有限公司;
【所在地域】 上海
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[1]程建瑞;吴成功;.ASML扫描机与NIKON步进机的匹配技术[J]电子工业专用设备.2014,(06)
[2]程建瑞;李正贤;.国内二手半导体设备的翻新调试及情况分析[J]电子工业专用设备.2009,(06)
[3]杨兴平;程建瑞;.微光信号探测对准技术[J]电子工业专用设备.2006,(09)
[4]程建瑞,王作义.半导体设备市场的新挑战与新机遇[J]电子工业专用设备.2004,(02)
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