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惠绍樑
【姓名】
惠绍樑
【职称】
【研究领域】
无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】
超净高纯化学品,过氧化氢,吸附-离子交换-膜分离,集成分离,温度变化,电子化学品,化学工程,颗粒数,包装材料,脱除,工艺技术,杂质含量,阳树脂,电子级,超大规模集成电路,包装容器,生产能力,生产设备,...
【工作单位】
上海华谊微电子化学品有限公司
【曾工作单位】
上海华谊微电子化学品有限公司;
【所在地域】
上海
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[1]许振良,魏永明,郎万中,杨晓天,沈丽萍,汤慧,吴家白,惠绍樑.
超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究
[J]化学试剂.2005,(10)
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