学者知网节

【姓名】	肖田
【职称】
【研究领域】	无线电电子学;电信技术;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】	无机非金属材料,射频磁控溅射法,BST薄膜,沉积速率,介电常数,气压,溅射工艺,溅射功率,基片温度,晶相,衬底温度,晶粒取向,研究,溅射条件,靶基距,制备,结晶取向,玻璃基片,化学组成,ITO,
【工作单位】	上海广电电子股份有限公司
【曾工作单位】	上海广电电子股份有限公司;
【所在地域】	上海

中国期刊全文数据库 共找到6篇

[1]陈涛;林明通;张羿;刘红君;周团团;楼均辉;陈晨曦;肖田;李荣玉;.电子束共蒸发Al_2O_3-La_2O_3和ZrO_2-Ta_2O_5复合薄膜的介电性能研究[J]现代显示.2009,(12)

[2]黄浩;肖田;张羿;林明通;.电子束蒸发Al_2O_3/TiO_2复合膜及在无机EL中的应用[J]液晶与显示.2006,(05)

[3]张羿;楼均辉;肖田;刘红君;周团团;.无机电致发光平板显示器的老化工艺[J]现代显示.2008,(09)

[4]刘红君;楼均辉;尤美琴;张羿;杨新;肖田;.有机、无机复合膜在电致发光器件中的应用[J]现代显示.2008,(11)

[5]林明通,肖田,楼均辉,陈国荣,杨云霞.溅射工艺参数对BST薄膜介电常数的影响[J]电子元件与材料.2005,(07)

[6]林明通,陈国荣,杨云霞,肖田,楼均辉.溅射工艺参数对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜沉积速率和介电性能的影响[J]真空.2005,(06)

中国重要会议全文数据库 共找到4篇

[1]刘红君;楼均辉;尤美琴;张羿;杨新;肖田;.有机、无机复合膜在电致发光器件中的应用[A].第六届华东三省一市真空学术交流会论文集.2009-10-22

[2]张羿;楼均辉;肖田;刘红君;周团团;.无机电致发光平板显示器的老化工艺[A].第六届华东三省一市真空学术交流会论文集.2009-10-22

[3]林明通;肖田;楼均辉;陈晨曦;陈国荣;杨云霞;.溅射工艺参数对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜沉积速率和介电性能的影响[A].2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集.2005-07-01

[4]徐毅;曹兆铿;刘逸忠;肖田;李德杰;.直流磁控反应溅射制作Ta_2O_5的工艺和电学特性研究[A].上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集.2005-01-01

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