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陈俭
【姓名】
陈俭
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
扩展电阻,硼离子注入,扩展电阻探针,二次离子质谱,硼的深度,二次离子,分辨率,技术测量,探针技术,质谱,针尖半径,载流子浓度,扩展电阻法,探针,深度分布,杂质浓度,球面对称,载流,杂质浓度分布,深度分...
【工作单位】
上海贝岭微电子制造有限公司
【曾工作单位】
上海贝岭微电子制造有限公司;
【所在地域】
上海
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[1]杨恒青,颜佳骅,陈俭,曹永明.
用二次离子质谱和扩展电阻探针技术测量硅中注入硼的深度分布及扩展电阻探针技术分辨率的估算
[J]半导体学报.2003,(03)
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