于国良
【姓名】 于国良
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 MEMS,石油勘探,工艺优化,生产过程,主要工艺,选择原则,电容式,和理论,光刻胶,刻蚀液,抗蚀膜,硅膜,感器,向异性,蚀刻液,双丰,掩膜版,山东威海,微机械加工,正性,
【工作单位】 山东省威海市双丰电子集团有限公司
【曾工作单位】 山东省威海市双丰电子集团有限公司;
【所在地域】 山东威海
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[1]牛德芳,于国良,刘静,孙正鼐.石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化[J]仪表技术与传感器.2005,(04)
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