孙正鼐
【姓名】 孙正鼐
【职称】
【研究领域】 地质学;地球物理学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 MEMS,感器,石油勘探,介质材料,差动电容,工艺优化,生产过程,主要工艺,选择原则,电容式,和理论,封装方式,主要技术指标,信号采集,结构特点,光刻胶,双丰,刻蚀液,中间电极,抗蚀膜,硅膜,复合梁,...
【工作单位】 山东省威海市双丰电子集团有限公司
【曾工作单位】 山东省威海市双丰电子集团有限公司;
【所在地域】 山东威海
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[1]颜永安,牛德芳,孙正鼐.石油勘探MEMS传感器的研究[J]物探装备.2005,(01)
[2]牛德芳,于国良,刘静,孙正鼐.石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化[J]仪表技术与传感器.2005,(04)
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