徐群
【姓名】 徐群
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,电流源,亚微米,数控,稳定度,束斑,高稳定度,电源板,数控电源,物镜,体电流,频率转换器,量板,源系统,干扰性,光柱,关键器件,控制方式,调机,连续可调,
【工作单位】 山东省青岛市电业局
【曾工作单位】 山东省青岛市电业局;
【所在地域】 青岛
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[1]徐群,张玉林,裘培勇.亚微米电子束曝光机数控电流源系统[J]电子学报.1993,(11)
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