YashitadaOshida
【姓名】 YashitadaOshida
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 调平,调焦,激光干涉测量法,激光干涉,圆片,抗蚀剂,测量法,基准光束,步进机,调焦精度,干涉条纹,照明光束,平调,芯片,入射,试验模型,线性度,重复精度,光学系统,抽样数据,
【工作单位】 日本日立公司
【曾工作单位】 日本日立公司;
【所在地域】
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[1]ＹａｓｈｉｔａｄａＯｓｈｉｄａ,万力.采用激光干涉测量法进行芯片调平调焦[J]电子工业专用设备.1998,(02)
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