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高伟
【姓名】
高伟
【职称】
【研究领域】
材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
纳米定位,自校正控制,参数估计,纳米工作台,自校正,纳米,台控,压电陶瓷,精密工作台,最小方差,自校正控制器,激光干涉仪,自校,定位精度,正算法,控制器,正控制,级位,纳米级,定位技术,
【工作单位】
欧姆龙(大连)有限公司
【曾工作单位】
欧姆龙(大连)有限公司;
【所在地域】
辽宁大连
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[1]朱中秋,陆林海,高伟.
基于自校正的纳米工作台控制
[J]机械与电子.2004,(01)
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朱中秋
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