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【姓名】	吴璟
【职称】	工程师;
【研究领域】	无线电电子学;工业通用技术及设备;电信技术;
【研究方向】	MEMS键合技术研究和MEMS天线研究
【发表文献关键词】	MEMS,磁控溅射法,张应力,压应力,低应力,Au薄膜,溅射气压,工艺研究,产生因素,溅射功率,电压,粘附性,靶材,溅射制备,金属膜,薄膜应力,增大,温度,内应力,热膨胀系数,
【工作单位】	南京电子器件研究所
【曾工作单位】	南京电子器件研究所;
【所在地域】	南京

中国期刊全文数据库 共找到7篇

[1]陈聪;李杰;姜理利;吴璟;张岩;郁元卫;黄旼;朱健;.用于不同体态芯片互连的凸点制备及性能表征[J]固体电子学研究与进展.2021,(02)

[2]杨驾鹏;周骏;沈国策;吴璟;沈亚;蔡茂;.TSV垂直传输结构的射频特性研究[J]固体电子学研究与进展.2016,(03)

[3]赵岩;程伟;吴立枢;吴璟;石归雄;黄子乾;.基于外延层转移的GaAs PIN与Si异构集成技术[J]固体电子学研究与进展.2014,(02)

[4]朱健;吴璟;贾世星;姜国庆;.基于MEMS圆片级封装/通孔互联技术的SIP技术[J]固体电子学研究与进展.2011,(02)

[5]侯芳;朱健;郁元卫;吴璟;陈辰;.MEMS层叠式毫米波天线设计[J]传感技术学报.2008,(02)

[6]吴璟;巩全成;贾世星;王敏杰;张勇;朱健;.基于中间硅片厚度可控的三层阳极键合技术[J]功能材料与器件学报.2008,(02)

[7]张龙,朱健,吴璟,卓敏,陈辰.磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究[J]中国机械工程.2005,(14)

中国重要会议全文数据库 共找到1篇

[1]张龙;朱健;吴璟;卓敏;陈辰;.磁控溅射制备低应力金属膜的工艺研究[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）.2005-08-01

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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