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林文通
【姓名】
林文通
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
GaAs,MESFET,钨栅,自对准,IC工艺,自对准结构,SIMS,干法刻蚀,直流磁控溅射,肖特基势垒,可蚀性,电子器件,自对准栅,正向特性曲线,二极管,深度分布,研究与进展,势垒,固体电子学,电阻...
【工作单位】
南京电子器件研究所
【曾工作单位】
南京电子器件研究所;
【所在地域】
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学术成果产出明细表
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[1]谢舒,谢中华,吴禄训,林文通.
自对准钨栅GaAs MESFET IC工艺
[J]固体电子学研究与进展.1989,(01)
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谢中华
南京电子器件研究所
1
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吴禄训
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2
江关辉
南京电子器件研究所
2
谢舒
南京电子器件研究所
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