江洪波
【姓名】 江洪波
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 缺陷,DRSEM,SEMVisionG2FIB,应用材料,半导体生产,缺陷控制,良率,电性,中国公司,MPSI,易带,透镜化,聚焦离子束,电子枪,Residue,程式,电荷,光阻材料,假缺陷,电性测量,
【工作单位】 美国应用材料中国有限公司
【曾工作单位】 美国应用材料中国有限公司;
【所在地域】 上海
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[1]李文胜,江洪波,金成洛,利定东.新一代DRSEM系统SEMVisionG2 FIB简介[J]半导体技术.2004,(04)
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