R.A.Levy
【姓名】 R.A.Levy
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 高宽比,接触线,接触孔,VLSI,平衡状态,矩形平板,弓形波,接触角,孔间距,拐角,粘滞流动,回流处理,生产过程,中心孔,玻璃层,几何结构,PSG膜,触线,横截面图,侧壁,
【工作单位】 美国朗讯贝尔实验室
【曾工作单位】 美国朗讯贝尔实验室;
【所在地域】
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[1]R.A.Levy,K.Nassau,胡永清.VLSI生产过程中接触孔的回流机理[J]微电子学.1987,(05)
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