J.L.Jackel
【姓名】 J.L.Jackel
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 LiNbO_3,反应离子刻蚀,混合气体,刻蚀速率,压强,气压,溅射,反应性离子刻蚀,放电过程,总压强,顶视图,对流,流速比,蚀图,等离子刻蚀,钻蚀,刻蚀深度,气体组分,集成光学,平行板,
【工作单位】 美国贝尔研究所
【曾工作单位】 美国贝尔研究所;
【所在地域】
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[1]J.L.Jackel,杨清宗.LiNbO_3的反应离子刻蚀[J]压电与声光.1982,(01)
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