蔡冰祁
【姓名】 蔡冰祁
【职称】 工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SiO_2,Si,ULSI,化学机械抛光,抛光速率,氧化硅,抛光浆,全局平面化,温度,抛光液,反应产物,光过程,动力学过程,CeO2,CMP技术,河北工业大学,硅单晶,化学作用,磨料浓度,抛光,
【工作单位】 洛阳单晶硅有限责任公司
【曾工作单位】 洛阳单晶硅有限责任公司;
【所在地域】 洛阳
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[1]刘玉岭,蔡冰祁,刘立威.ULSI制备中二氧化硅等介质化学机械抛光的研究[J]半导体技术.2000,(03)
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