邹广平
【姓名】 邹广平
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 表面微加工,微电子机械系统,LIGA工艺,机电一体化,杰出成就,械系,子机,微电,微型机械,LIGA,硅材料,机翼,微型,机械系统,元件,阵列,微型阀,芯片,微电子机械,微型结构,
【工作单位】 辽宁省机械研究院
【曾工作单位】 辽宁省机械研究院;
【所在地域】
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[1]刘青,邹广平,刘晓静.机电一体化技术的杰出成就:微电子机械系统[J]机电一体化.1998,(01)
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