刘逵
【姓名】 刘逵
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 VLSI制造,自对准硅化物,硅化物,亚微米集成电路,硅化物工艺,IC工艺,自对准,硅化钛,CMOS器件,CMOSIC,漏区,亚微米,快速退火,硅化物技术,多晶硅,栅电极,湿法腐蚀,氮气气氛,洗硅,桥接,
【工作单位】 江苏省无锡微电子科研中心
【曾工作单位】 江苏省无锡微电子科研中心;
【所在地域】 江苏无锡
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[1]王万业,徐征,刘逵.亚微米CMOSIC中自对准硅化物工艺的研究[J]微电子学.2002,(05)
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