沈柏明
【姓名】 沈柏明
【职称】 工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻,硅圆片,芯片制作,集成电路,集成电路制造,超大规模集成电路,硅单晶,特征尺寸,特大规模集成电路,极紫外,光刻技术,圆片,离子注入,超大规模集成,电子束光刻,角度限制,小特征尺寸,曝光源,生产工艺...
【工作单位】 广东省深圳市宝安区松岗镇经济发展总公司
【曾工作单位】 广东省深圳市宝安区松岗镇经济发展总公司;
【所在地域】 广东深圳
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[1]沈柏明.集成电路制造技术展望[J]微电子学.2002,(03)
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