蒋继申
【姓名】 蒋继申
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅杯,集成压力传感器,硅膜,腐蚀液,腐蚀速率,邻苯二酚,光刻掩模,联氨,邻苯,应力差,乙二胺,矩形膜,直角边,侧壁,组分比例,镜面,各向异性腐蚀,力敏器件,面光,半导体压力传感器,
【工作单位】 甘肃省国营第七四九厂
【曾工作单位】 甘肃省国营第七四九厂;
【所在地域】
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[1]蒋继申.集成压力传感器研制中的硅杯腐蚀[J]半导体技术.1986,(06)
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