黄良甫
【姓名】 黄良甫
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 刻蚀速率,离子束刻蚀,真空室,电荷交换,真空,离子源,靶距,溅射,放电室,扩散泵,束流密度,束流,机械泵,体负荷,压强,剩余气体,活性气体,分压强,引出系统,电子伏,
【工作单位】 德国马克斯-普朗克微结构物理研究所
【曾工作单位】 德国马克斯-普朗克微结构物理研究所;
【所在地域】
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[1]黄良甫,李守忠.离子束刻蚀机中的几个真空问题[J]微细加工技术.1984,(02)
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