于国明
【姓名】 于国明
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 错位散斑,椭圆仪,无损检测,自然氧化,折射率,入射角,层厚度,散斑图,照相物镜,甩胶,光刻胶,几何象,磷硅玻璃,氧化层,部分相干光,SICH,绝对厚度,干氧氧化,LASER,硅表面,LPCVD,测量精...
【工作单位】 北京照相机械技术研究所
【曾工作单位】 北京照相机械技术研究所;
【所在地域】
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[1]于国明,宋菲君,陈雄.错位散斑效应在无损检测中的应用[J]四川激光.1983,(03)
[2]张爱珍,于国明.TP—83椭圆仪的某些应用[J]半导体技术.1986,(06)
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