屠海令
【姓名】 屠海令
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;机械工业;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 片状缺陷,硅片键合与减薄,SOI,外延层转移,智能剥离,注氧隔离,氢,硅,高分辨电子显微术(HREM),损伤带,多孔硅,注氢,SOI材料,离子注入,顶部硅层,氢退火,制备技术,原子列,高分辨电镜研究,...
【工作单位】 北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司;
【所在地域】 北京
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[1]肖清华,屠海令,邵贝羚,王敬.注氢硅片中片状缺陷的结构特征及其深度分布的高分辨电镜研究[J]电子显微学报.2004,(03)
[2]肖清华,屠海令,周旗钢,王敬,常青,张果虎.SOI材料的制备技术[J]稀有金属.2002,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]肖清华;屠海令;.氢注入硅片中微结构控制的研究进展[A].2004年中国材料研讨会论文摘要集.2004-11-01
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