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刘安生
【姓名】
刘安生
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
同步辐射双晶貌相术,高分辨三轴晶X射线衍射,衍射双峰,摇摆曲线,Si衬底,低温热处理,BESOI,对应关系,应变弛豫,Si/SiGe/Si,异质结构,衍射峰,半高宽,外延层,形貌,失配位错,双晶衍射,...
【工作单位】
北京有色金属研究总院国家有色金属及电子材料分析测试中心
【曾工作单位】
北京有色金属研究总院国家有色金属及电子材料分析测试中心;
【所在地域】
北京
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共找到1篇
[1]马通达,屠海令,胡广勇,邵贝羚,刘安生.
Si/SiGe/Si-SOI异质结构的同步辐射双晶貌相术和高分辨三轴晶X射线衍射
[J]半导体学报.2005,(07)
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