周旗钢
【姓名】 周旗钢
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;化学;无机化工;
【研究方向】 半导体材料与器件
【发表文献关键词】 Φ200mm硅单晶,系统操作参数表,界面,SOI,硅片键合,无位错,热场,硅片,直接键合,少子扩散长度,表面氢终端,硅抛光片,硅单晶,拉晶,工艺参数,生长工艺,硅,铁杂质,微结构,硅膜,电压测量,磁场...
【工作单位】 北京有色金属研究总院
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院;
【所在地域】 北京
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