张果虎
【姓名】 张果虎
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;材料科学;
【研究方向】 半导体硅单晶的研究工作
【发表文献关键词】 硅单晶,控氧技术,重掺杂,掺砷,Φ200mm硅单晶,拉晶,热场,氧径向均匀性,氧含量,系统操作参数表,无位错,Φ125mm硅单晶,300mm硅单晶,坩埚,单晶,300mm,磁场,石英坩埚转速,电阻率,...
【工作单位】 北京有色金属研究总院
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院;
【所在地域】 北京
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[1]张果虎,吴志强,方锋,秦福,常青,周旗钢,屠海令.300mm硅单晶的生长技术[J]半导体学报.2001,(03)
[2]程景柏,屠海令,周旗钢,王敬,常青,张果虎,方锋.300mm硅单晶的缩颈生长及应力分析[J]稀有金属.2001,(04)
[3]曾世铭，常青，王锻强，张果虎.Φ100mm重掺砷〈111〉硅单晶的制备[J]稀有金属.1995,(04)
[4]张果虎,常青,方锋,吴志强,郝玉清,秦福.Φ125mm硅单晶的控氧技术[J]稀有金属.1997,(05)
[5]张果虎,常青,方锋,吴志强,周旗钢.Φ200mm硅单晶的生长工艺特点[J]稀有金属.1998,(01)
[6]郝玉清,张果虎,常青,方锋,吴志强,万关良,秦福.Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究[J]稀有金属.1998,(06)
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