张椿
【姓名】 张椿
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;机械工业;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 雾缺陷,损伤层,背损伤,SOI,界面,硅片键合,吸除,硅片,直接键合,表面氢终端,表面损伤,磨片,位错,少子扩散长度,硅抛光片,硅,吸杂,片状缺陷,铁杂质,化学机械,微结构,红外显微镜,表面损伤层,硅...
【工作单位】 北京有色金属研究总院
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/6 5 0 0 22 729
中国期刊全文数据库    共找到6篇
[1]屠海令,朱悟新,王敬,周旗钢,张椿,孙燕.表面光电压测量P型硅抛光片少子扩散长度及铁杂质含量的研究[J]半导体学报.1999,(03)
[2]王敬，屠海令，朱悟新，周旗钢，刘安生，张椿.稀氢氟酸中硅表面氢终端的原位拉曼光谱研究[J]光散射学报.1999,(02)
[3]刘峥，翟富义，张椿，尤重远.硅片背损伤对雾缺陷吸除的影响的研究[J]稀有金属.1996,(01)
[4]刘峥,翟富义,张椿,尤重远.P〈111〉硅磨片表面损伤的研究[J]稀有金属.1997,(02)
[5]王敬,屠海令,刘安生,周旗钢,朱悟新,张椿.SOI键合材料的TEM研究[J]稀有金属.1998,(04)
[6]王敬,屠海令,刘安生,张椿,周旗钢,朱悟新.硅片的直接键合[J]稀有金属.1998,(05)
更多