马文源
【姓名】 马文源
【职称】
【研究领域】 冶金工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 难熔金属,金属铌,高纯金属,布线材料,靶材,栅极材料,多晶硅栅极,难熔,共溅射法,电阻层,微电子技术,溅射,超导材料,亚微米,金属纯度,高纯化,悬浮熔炼,电子束熔炼,超微量元素,微电子材料,
【工作单位】 北京有色金属研究总院
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院;
【所在地域】
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[1]马文源.国外高纯难熔金属的现状[J]稀有金属.1994,(01)
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