陈坚邦
【姓名】 陈坚邦
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;市场研究与信息;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 锑化镓,扫描隧道显微镜,微缺陷,抛光工,抛光机理,表面氧,原子氧,GaAs,抛光片,砷化镓晶片表面,表面损伤,磷化镓,砷化镓晶片,损伤层,表面氧化,卢瑟福背散射,半导,抛光工艺,次氯酸钠,抛光表面,晶...
【工作单位】 北京有色金属研究总院
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院;
【所在地域】 北京
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[3]衡成林,王孙涛,秦国刚,王敬,王永鸿,陈坚邦,濮玉梅,陈晶.GaAs/SiO_2超晶格的制备和Raman光谱研究[J]光散射学报.2000,(03)
[4]陈坚邦,郑安生.LEC < 111 > 磷化镓晶片缺陷的观察[J]稀有金属.1999,(05)
[5]陈坚邦,刘鸿飞.扫描隧道显微镜研究GaAs(100)表面微缺陷[J]稀有金属.1995,(03)
[6]陈坚邦,王云春.锑化镓材料表面氧化的研究[J]稀有金属.1996,(03)
[7]陈坚邦,王云春.锑化镓材料表面氧化机理的研究[J]稀有金属.1996,(04)
[8]陈坚邦,王云春,董国荃.GaAs材料抛光机理的研究[J]稀有金属.1997,(02)
[9]董国全,万群,陈坚邦.GaAs抛光表面损伤的RBS研究[J]稀有金属.1998,(04)
[10]陈坚邦,钱嘉裕,杨钧.TEM观察砷化镓晶片损伤层[J]稀有金属.1998,(05)
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[1]屠海令;郑安生;张峰翊;邓志杰;王永鸿;钱嘉裕;韩庆彬;陈坚邦;.砷化镓及相关化合物半导体材料的研究进展和应用前景[A].第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集.2001-10-01
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