李碧海
【姓名】 李碧海
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 感湿特性,一氧化硅,感湿膜,蒸发工艺,元件,湿度传感器,吸湿性,蒸发速率,入射角,实验结果,成膜结构,O薄膜,表面电阻率,湿敏特性,多孔性,接触角滞后,介电常数,湿滞特性,表面型,晶粒,
【工作单位】 北京市电子工业学校
【曾工作单位】 北京市电子工业学校;
【所在地域】
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[1]杨邦朝,李碧海.淀积角度对一氧化硅薄膜感湿特性的影响[J]传感器技术.1988,(03)
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