杨振锋
【姓名】 杨振锋
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻胶,针孔,测法,针孔对,针孔密度,节门,过干燥,氧化层,腐蚀液,腐蚀坑,后烘,正性胶,负性胶,氯气,ASTM,热生长,行计数,腐蚀时间,其他方法,要项,
【工作单位】 北京化工厂
【曾工作单位】 北京化工厂;
【所在地域】
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[1]杨振锋.光刻胶的针孔测法及评价[J]半导体技术.1983,(01)
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