王大海
【姓名】 王大海
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 TFT器件工艺的研究
【发表文献关键词】 溅射速率,TFT器件,刻蚀速率,选择比,反应性离子刻蚀,多晶硅薄膜晶体管,金属薄膜,磁控溅射,TFT阵列,溅射,晶体管工艺,硅薄膜,溅射功率,金属电极,反应性,衬底温度,硅薄膜晶体管,刻蚀过程,多晶,...
【工作单位】 北方液晶工程研究开发中心
【曾工作单位】 北方液晶工程研究开发中心;
【所在地域】 吉林长春
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[1]王大海,杨柏梁,吴渊,刘传珍,李牧菊,李轶华,张玉,廖燕平.TFT阵列金属电极的制备与性能[J]液晶与显示.2000,(04)
[2]王大海,李轶华,孙艳,吴渊,陈国军,付国柱,荆海,万春明.多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀[J]液晶与显示.2002,(01)
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